Projekt zestawu lusterki skanowania ultra światła SIC

Tylna struktura lustra skanowania ultra światła

Ciało lustrzane zostało wykonane z węgliku krzemu, a konstrukcja podtrzymująca została wykonana ze stali indu. Sztywność wspornika i dokładność powierzchni zespołu lustra skanującego są symulowane i analizowane za pomocą analizy elementów skończonych i weryfikowane za pomocą faktycznych testów.

Model elementu skończonego zespołu lustra skanowania

Wyniki pokazują, że maksymalna wartość średniej kwadratowej (RMS) błędu kształtu lustra skanowania wynosi 9,705 nm, rzeczywisty wynik testu 10,125 nm, błąd wynosi 4% i spełnia wymaganie, aby wartość RMS była mniejsza niż 12,6 nm cala Przypadek grawitacji we wszystkich kierunkach i moment obrotowy napędzanego wału.

Wynik testu dokładności powierzchniowej

Częstotliwość naturalna pierwszego rzędu komponentu wynosiła 302,25 Hz, co spełniało wymagania sztywności. Wyniki pokazują, że proponowana metoda jest rozsądna i skuteczna, co rozwiązuje problem, że struktura ultra-lekka i sztywność strukturalna i dokładność powierzchni optycznej są trudne do zagwarantowania jednocześnie.

Zespół lustra skanowania

W oparciu o zasadę szażek i elastycznego zawiasu zaproponowano zespół lustra skanowania ze zintegrowanym wsparciem pleców. Główne parametry elastycznego łącza są określane poprzez symulację numeryczną i obliczenia iteracyjne, które zapewnia techniczne odniesienie do optymalizacji parametrów elastycznej struktury nośnej.